苏纳光电申请光刻胶匀胶方法专利提升工艺稳定性与效率

　　国家知识产权局信息显示，苏州苏纳光电有限公司申请一项名为“光刻胶匀胶方法及电子设备”的专利，公开号CN121364602A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种光刻胶匀胶方法及电子设备，光刻胶匀胶方法包括：采用涂胶头在晶圆表面按预设螺旋轨迹涂布光刻胶胶液；驱动所述晶圆旋转，以使所述胶液均匀分布于晶圆表面；其中，在涂布过程中获取胶液的粘度值η，并根据胶液的粘度值η控制涂胶头移动速度v、胶液挤出流量Q及螺旋轨迹的螺距p。本发明能够实现高粘度光刻胶的均匀铺展，降低缺陷率，提升工艺稳定性与效率。

　　天眼查资料显示，苏州苏纳光电有限公司，成立于2014年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本626.9992万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州苏纳光电有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目31次，财产线条，此外企业还拥有行政许可7个。

　　声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。